低温等离子体的作用方式主要有三种:等离子体表面处理改性(PST法)、等离子体接枝聚合(PGP法)和等离子体沉积聚合(PPD法)。PST法是指对材料表面或极薄表层的活化、刻蚀处理,通常称为减量处理。因为低温等离子体中的电子等活性因素的能量(高达20 eV)比有机化合物的化学键能(<10 eV)高得多,在化学性上很活跃。当处理有机化合物时,很容易使被处理物表面纤维发生断裂,从而改善纤维或织物的吸湿性、拒水性、抗污性及染色性等性能。PGP法是运用等离子体作用首先使表面活化，并引入活性基团，然后再运用接枝方法在原表面上接上许多活性支链，构成新表层。PPD法是将有机化合物的气体形成等离子体状态，通过控制工艺条件，使其沉积在处理物表面形成覆膜的方法。后两类是增量处理法。
