真空表面处理机相关的安全预防措施
1、关闭小型真空等离子表面处理机设备电源开关，切断总电源保护器。
2、关闭所有的气体。
3、准备必要的工具包。
4、是维护保养真空腔和真空发生系统：
（1）真空腔是加工工件的工作区域，使用一定时间后，空腔内会残留部分污物，这些污物附着在电极板和空腔壁上。
清洗方法：连续使用一定时间后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。
（2）观察窗是指工作人员在工作时观察真空等离子表面处理机腔体内放电的用的，在使用了气体蚀刻之后，会造成观察窗的表面发生微蚀，使观察窗变得模糊。大气
等离子处理机提供各种修改表面的方法
一、处理机对象经等离子处理机之后是干燥的，可以提高整个工艺流水线的处理效率；
二、等离子处理机使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性;
四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好;
五、使用等离子处理机，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点。
六、等离子处理机需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;
七、使用等离子处理机，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生;
八、等离子处理机可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;
九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。关于等离子表面处理机在表面发生的反应，需要先了解等离子体的概念。等离子体是一种高能量的物质状态，由带正电荷的离子和带负电荷的电子组成。等离子体可以通过加热、电离、激光等方式产生，具有高能量、高速度、高温度等特点，可以对表面进行处理。
等离子表面处理机利用等离子体对表面进行处理，主要包括以下几种反应：
1.离子轰击反应：等离子体中的离子具有高能量，可以对表面进行轰击，使表面发生化学反应。例如，氮离子轰击金属表面可以形成氮化物层，提高金属的硬度和耐磨性。
2.化学反应：等离子体中的离子和分子可以与表面的原子或分子发生化学反应，形成新的化合物。例如，氧离子可以与金属表面的氧化物反应，形成金属氧化物层，提高金属的耐腐蚀性。
3.氧化还原反应：等离子体中的离子和分子可以与表面的原子或分子发生氧化还原反应，改变表面的化学性质。例如，氧离子可以将金属表面的氧化物还原成金属，提高金属的导电性和导热性。
4.晶格缺陷修复：等离子体中的离子和分子可以填补表面的晶格缺陷，提高表面的结晶度和机械性能。例如，氮离子可以填补金属表面的晶格缺陷，提高金属的强度和韧性。
以上是等离子表面处理机在表面发生的一些常见反应，不同的反应会对表面产生不同的影响。在使用等离子表面处理机时，需要根据具体的材料和处理要求选择合适的处理参数和反应方式，以达到佳的处理效果。
