低温等离子体中的粒子能量一般约为几个至十几电子伏特，大于聚合物材料的结合键能（几个至十几电子伏特），完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键，但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能。处于非热力学平衡状态下的
低温等离子体中，电子具有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应活性(大于热
等离子体)，而中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。通过
低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。
等离子态（Plasma）被称为是物质的第四态；我们知道，给固态增加能量可使之成为液态，给液态增加能量可使之变成气态，那么，给气态增加能量则能变成等离子态。
等离子体即电离了的“气体”，它呈现出高度激发的不稳定态，
等离子体中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
这些高能粒子和活性粒子与材料表面发生物理或化学反的反应，从而达到表面清洁、激活、蚀刻、亲水性、疏水性、低摩擦、易粘接、涂覆等各种表面改性目的。
