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等离子喷涂Ar气电离电位

发布时间:2023/12/26 8:10:27 | 信息来源:
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等离子喷涂机使用注意事项


1、等离子系统内部有高频高压,禁止打开机箱后盖,进行调试与维修并可靠接地,为防触电,不可湿手操作。


2、等离子焰温度很高,请不要在有易燃易爆物料场所使用。


3、请不要用手触摸等离子火焰,避免被电与烧伤。


4、等离子机移动运行时,严禁将身体及其它物体伸进护机箱内,以免造成不必要损失。


5、未经设备技术员允许不得随意更改特定系统参数;


6、当机器操作不当,导致紧急情况发生时,立即按下断电;等离子清洗机是一种常用于半导体、光电、航空航天等领域的设备,它可以通过等离子体的作用,将材料表面的污染物清除干净,以提高材料的质量和性能。在使用等离子清洗机的过程中,有时会出现功率异常的情况,影响设备的正常运行。本文将详细介绍等离子清洗机功率异常的解决方法。




一、检查设备



1.检查电源:首先需要检查等离子清洗机的电源是否正常,包括电源插头、电源线、电源开关等。




2.检查气源:等离子清洗机需要气源才能正常工作,需要检查气源是否正常,包括气源管路、气源压力等。




3.检查电极:等离子清洗机的电极是产生等离子体的关键部件,需要检查电极是否正常,包括电极的清洁程度、电极的磨损程度等。




二、调整参数




1.调整功率:如果等离子清洗机的功率异常,可以尝试调整功率,使其达到正常范围内。




2.调整气源压力:如果等离子清洗机的气源压力异常,可以尝试调整气源压力,使其达到正常范围内。




3.调整电极间距:如果等离子清洗机的电极间距异常,可以尝试调整电极间距,使其达到正常范围内。




三、更换部件




1.更换电极:如果等离子清洗机的电极已经磨损严重,需要更换电极。




2.更换气源管路:如果等离子清洗机的气源管路出现堵塞或损坏,需要更换气源管路。




3.更换电源线:如果等离子清洗机的电源线出现损坏,需要更换电源线。




需要注意的是,在进行等离子清洗机的维护和修理时,需要遵守相关的安全规定,佩戴防护用品,如手套、护目镜等,避免因操作不当导致安全事故。同时,需要根据设备的具体情况选择合适的维护和修理方法,以确保设备的正常运行。




综上所述,等离子清洗机是一种常用于半导体、光电、航空航天等领域的设备,它可以通过等离子体的作用,将材料表面的污染物清除干净,以提高材料的质量和性能。在使用等离子清洗机的过程中,有时会出现功率异常的情况,需要进行检查和调整,或更换部件,以确保设备的正常运行。在进行维护和修理时,需要注意安全问题,并根据设备的具体情况选择合适的维护和修理方法。等离子喷涂工艺流程


在等离子喷涂过程中,影响涂层质量的工艺参数很多,主要有:
①等离子气体:气体的选择原则主要根据是可用性和经济性,N2气便宜,且离子焰热焓高,传热快,利于粉末的加热和熔化,但对于易发生氮化反应的粉末或基体则不可采用。Ar气电离电位较低,等离子弧稳定且易于引燃,弧焰较短,适于小件或薄件的喷涂,此外Ar气还有很好的保护作用,但Ar气的热焓低,价格昂贵。
气体流量大小直接影响等离子焰流的热焓和流速,从而影响喷涂效率,涂层气孔率和结合力等。流量过高,则气体会从等离子射流中带走有用的热,并使喷涂粒子的速度升高,减少了喷涂粒子在等离子火焰中的“滞留”时间,导致粒子达不到变形所必要的半熔化或塑性状态,结果是涂层粘接强度、密度和硬度都较差,沉积速率也会显著降低;相反,则会使电弧电压值不适当,并大大降低喷射粒子的速度。极端情况下,会引起喷涂材料过热,造成喷涂材料过度熔化或汽化,引起熔融的粉末粒子在喷嘴或粉末喷口聚集,然后以较大球状沉积到涂层中,形成大的空穴。
②电弧的功率:电弧功率太高,电弧温度升高,更多的气体将转变成为等离子体,在大功率、低工作气体流量的情况下,几乎全部工作气体都转变为活性等粒子流,等粒子火焰温度也很高,这可能使一些喷涂材料气化并引起涂层成分改变,喷涂材料的蒸汽在基体与涂层之间或涂层的叠层之间凝聚引起粘接不良。此外还可能使喷嘴和电极烧蚀。
而电弧功率太低,则得到部分离子气体和温度较低的等离子火焰,又会引起粒子加热不足,涂层的粘结强度,硬度和沉积效率较低。
③供粉:供粉速度必须与输入功率相适应,过大,会出现生粉(未熔化),导致喷涂效率降低;过低,粉末氧化严重,并造成基体过热。
送料位置也会影响涂层结构和喷涂效率,一般来说,粉末必须送至焰心才能使粉末获得好的加热和高的速度。
④喷涂距离和喷涂角:喷枪到工件的距离影响喷涂粒子和基体撞击时的速度和温度,涂层的特征和喷涂材料对喷涂距离很敏感。
喷涂距离过大,粉粒的温度和速度均将下降,结合力、气孔、喷涂效率都会明显下降;过小,会使基体温升过高,基体和涂层氧化,影响涂层的结合。在机体温升允许的情况下,喷距适当小些为好。
喷涂角:指的是焰流轴线与被喷涂工件表面之间的角度。该角小于45度时,由于“阴影效应”的影响,涂层结构会恶化形成空穴,导致涂层疏松。
⑤喷枪与工件的相对运动速度
喷枪的移动速度应保证涂层平坦,不出线喷涂脊背的痕迹。也就是说,每个行程的宽度之间应充分搭叠,在满足上述要求前提下,喷涂操作时,一般采用较高的喷枪移动速度,这样可防止产生局部热点和表面氧化。
⑥基体温度控制
较理想的喷涂工件是在喷涂前把工件预热到喷涂过程要达到的温度,然后在喷涂过程中对工件采用喷气冷却的措施,使其保持原来的温度。

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