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等离子处理机废气排放系统的方案

发布时间:2023/10/13 13:00:28 | 信息来源:
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大气等离子处理机提供各种修改表面的方法


一、处理机对象经等离子处理机之后是干燥的,可以提高整个工艺流水线的处理效率;


二、等离子处理机使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害,同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;


三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性;


四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好;


五、使用等离子处理机,可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成,因此具有产率高的特点。


六、等离子处理机需要控制的真空度约为100Pa,这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高,加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂,这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;


七、使用等离子处理机,避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施,所以生产场地很容易保持清洁卫生;


八、等离子处理机可以不分处理对象,它可以处理各种各样的材质,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;


九、在完成清洗去污的同时,还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等,这在许多应用中都是非常重要的。大气等离子处理机技术的特点:




1. 均匀度高。大气等离子是辉光式的等离子幕,直接作用于材料表面,实验证明,同一材料不同位置的处理均匀性很高,这一特性对于工业领域进行下一环节的贴合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。



2. 效果可控。大气等离子有三种效果模式可选。一是选用 氩气/氧气 组合,主要面向非金属材料并且要求较高的表面亲水效果时采用,比如玻璃,PET Film等。 二是选用 氩气/氮气 组合,主要面向各种金属材料,如金线、铜线等。因氧气的氧化作用,替换为此方案中的氮气后,该问题可以得到有效控制。三是只采用氩气的情况,只采用氩气也可以实现表面改性,但是效果相对较弱。此为特殊情况,是少数工业客户需要有限而均匀的表面改性时采用的方案。




3. 安全易用。大气式等离子,也是低温等离子,不会对材料表面造成损伤,例如对方阻值敏感的ITO Film材质亦可处理。无电弧,无需真空腔体,也无需废气排放系统,长时间使用并不会对操作人员造成身体损害。




4. 面积宽大。大气等离子大可以处理2m宽的材料,可以满足现有多数工业企业的需求。




5. 成本低廉。大气等离子设备功耗低,运行成本以气体为主。以主要消耗气体氩气为例,同corona等离子气体消耗量相比不足其1/20.一、等离子设备日常维护


(一) 等离子发生器的维护


定期清理等离子发生器内部的外壳及排气口灰尘。建议至少每月检查一次;
定期更换等离子源体;
定期检查掌握等离子发生器的加工系统参数,确保其正常工作;
注意等离子源的调整,增大等离子体流量,经常清洗导体;
(二)易损件维护


定期检查并更换设备中的易损件,如膜片、密封圈、电极等,防止其损坏影响设备正常工作;
每半年对快门杆和气压控制进行检查和校准,避免出现误差。
(三)其他维护注意事项


定期更换老化、损坏的电缆线;
定期校准空气压力表和温度计等,确保其精确度;
加油、更换机器油。
二、等离子设备故障排除


如果出现故障,需要先确定故障原因才能进行修理。以下是常见故障排除方法:


(一)等离子体丢失或流量减少


检查配合的真空泵是否正常开启,系统管道是否漏气。
检查减压阀门是否被堵塞;
检查氧流量计、气体流量计、陶瓷燃烧嘴等部件是否有损伤。
(二)设备火花分析效果差


先检查离子发生器内部是否有杂质;
调整电极间距,确认装置无松动现象;
更换发光信号纸片窑。

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