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真空等离子清洗机真空系统负责维持反应
真空等离子清洗机是一种有效、环保的表面清洗设备，广泛应用于半导体、光伏、医疗、航天等领域中。其清洗原理主要基于等离子体化学反应和物理作用相结合的过程。
一、真空等离子清洗机的基本结构
真空等离子清洗机主要由注入系统、真空系统、等离子发生器、反应室及废气处理系统等组成。其中注入系统负责将清洗物料送到反应室内部，并注入待清洗气体；真空系统负责维持反应室内部的真空度；等离子发生器负责产生等离子体，并激活清洗气体；反应室则是清洗反应的关键部位，利用等离子体化学反应和物理作用进行表面清洗；废气处理系统则主要负责回收和处理清洗产生的废气。
二、等离子体化学反应的原理
等离子体是一种高能量带电气体状态，具有较高的离解度和反应活性。当高能量电场作用于清洗气体时，清洗气分子中的电子被撞出，并与其他分子或原子发生碰撞，形成离子、自由基等高活性物质。这些高活性的物质具有强氧化还原能力，可以加速杂质的去除、表面的去污以及钝化处理。同时，通过调节清洗气体、电场强度、反应时间和温度等参数，可以实现不同材料表面的清洗效果。
三、物理作用的原理
等离子体在带电的状态下，会聚集在物体表面，并通过静电吸引力使物质与等离子体产生相互作用，实现清洗。物理作用主要包括以下几种：
1.轰击清洗法，即利用等离子体粒子的高动能对杂质进行轰击，将其从物体表面清洗出来。
2.消蚀清洗法，即利用等离子体中的高能离子打击表面材料，实现深度清洗。
3.离子注入法，即利用等离子体中的离子对材料表面进行注入改性。
4.表面硬化法，即由等离子体引起的高速响应热震导致表面结构的组织变化，增强表面的硬度和耐腐蚀性。
四、真空等离子清洗机的清洗优势
1.有效：真空等离子清洗机具有高能量、高反应速度等特点，可快速清洗复杂表面上的污染物和粘附杂质。
2.环保：清洗过程不含有任何有害化学药品，对环境无污染。
3.安全：在清洗过程中，没有明火、爆炸等安全隐患，操作更加稳定与安全。
4.兼容性好：真空等离子清洗机可以适用于多种类型材料的清洗，如金属、玻璃、塑料、陶瓷等。
5.表面质量优异：采用真空等离子清洗技术可以达到纳米级别的清洗效果，使得清洗后的材料表面平整、光滑，光致反射率增强，提高其光电性能。同时，通过钝化处理等措施，可以大幅减轻材料表面氧化、锈蚀等问题，延长使用寿命。在线等离子清洗机在清洗对象的工艺处理效率
一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序，可以提高整个工艺流水线处理效率;
二、在线等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；
四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用在线等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；
六、在线等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
七、使用在线等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；
八、在线等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。等离子处理器由等离子发生器，气体输送管路及等离子喷头等部分组成，等离子发生器产生高压高频能量在喷嘴钢管中被激活和被控制的辉光放电中产生低温等离子体，借助压缩空气将等离子喷向工件表面，当等离子体和被处理物体表面相遇时，产生了物体变化和化学反应。等离子处理器在清洁表面的特点
1.喷射出的等离子体流为中性，不带电 ，可以对各种高分子、金属、半导体、橡胶、PCB电路板等材料进行表面处理。
2.等离子表面处理器处理后去除了碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂，有利于粘结、性能持久稳定，保持时间长。
3.温度低、适合运用于那些表面材料对温度敏感的制品。
4.不需要箱体，可以直接安装在生产线上，在线运行处理。相对与磨边机的反向运行，大大提高了工作效率。
5.只消耗空气和电，因此运行成本低，操作更安全。
6.干式方法处理无污染，无废水，符合环保要求；并且替代了传统的磨边机，杜绝了纸粉纸毛对环境及设备的影响。
7.经等离子表面处理器处理后，可采用普通胶水来粘盒，降低了生产成本。
