真空表面处理机相关的安全预防措施
1、关闭小型真空等离子表面处理机设备电源开关，切断总电源保护器。
2、关闭所有的气体。
3、准备必要的工具包。
4、是维护保养真空腔和真空发生系统：
（1）真空腔是加工工件的工作区域，使用一定时间后，空腔内会残留部分污物，这些污物附着在电极板和空腔壁上。
清洗方法：连续使用一定时间后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。
（2）观察窗是指工作人员在工作时观察真空等离子表面处理机腔体内放电的用的，在使用了气体蚀刻之后，会造成观察窗的表面发生微蚀，使观察窗变得模糊。等离子表面处理的处理工艺
1.等离子表面处理过的表面，无论是塑料，金属还是玻璃都能获得表面能的提高，通过这样的处理工艺，制品的表面状态才能充分满足后续的涂装，粘接等工艺的要求。
2.常压等离子表面处理具有极为广泛的应用领域，这使其成为行业中广受关注的核心表面处理工艺。通过使用这种创新的表面处理工艺，可以实现现代制造工艺所追求的高品质，高可靠性，率，低成本和环保等目标
3.等离子态(Plasma)被称为是物质的四态，我们知道，给固态增加能量可使之成为液态，给液态增加能量可使之变成气态，那么，给气态增加能量则能变成等离子态。
4.等离子表面处理器在印刷包装行业的应用，采用等离子表面处理器处理胶结面工艺可以极大的提高粘接强度，降低成本，粘接质量稳定，产品一致性好，不产生粉尘，环境洁净。
5.等离子表面处理器在汽车行业的应用，在目前已经广泛的应用于车灯、各种橡胶封条、内饰、刹车块、雨刮器、油封、仪表盘、安全气囊、保险杠、天线、发动机密封、GPS、DVD、仪表、传感器，汽车的门封条。
等离子的性质
等离子与普通气体非常不同，其具有电性质。在等离子中，由于自由电子的存在，它具有导电性和磁性，并且可以受到外部电、磁场的影响。在强电场作用下，等离子会出现诸如等离子振荡、电离、电极化等现象。
等离子还是一种散热体系，因为当物质被电离时，它会释放大量的能量并以热量的形式散发出去。这种特性使得等离子在高温物理学和天文学领域得到广泛应用，例如太阳火球、恒星等天体都是基于等离子运动机制进行解释的。
在分子级别上，化学反应通常需要高能状态来发生。通过等离子，可以实现气体和液体系统中的低能输入，从而引发化学反应。此外，等离子还可以催化普通反应，增加起始前体与相邻分子之间的激活反应。
等离子的制备方法
产生等离子有许多方法，其中包括：
(1)高温气体：这是产生等离子基本的方式，将物质加热到足够高的温度，从而使其电离，具有典型的气体放电特征。例如太阳、恒星大气和闪电等。
(2)电离：通过外部输入能量，例如放电等，将气体从不稳定态转变为电离态，形成等离子。例如激光诱导等离子和电弧放电等。
(3)磁控制：利用磁场限制自由电子运动的范围，使高速分子在灌注等离子流动区域内发生电离，例如等离子切割和光阻清洗中均有应用。
(4)化学方法：通过特殊化学反应产生等离子，如等离子聚合和电弧等离子体涂覆技术。
等离子的应用
等离子应用十分广泛，其中一些领域包括：
(1)等离子切割：利用带电粒子束将材料烧蚀，可以用于微加工和可视微结构制造等。
(2)等离子涂层：涂覆或覆盖的工业表面，增加耐磨性、耐氧化性、降解防止和美观，例如染料敏化太阳能电池锌氧化物涂层。
(3)等离子清洗：可以有效地除去各种工业表面的各种有机污染物或无机污染物，如烟灰、有机物、铜铝和硅等。
(4)等离子聚合：利用分子之间的静电力增加化学反应中起始前体分子与相邻分子的激活能，促进反应发生，例如高分子合成和纳米材料制备。
(5)等离子刻蚀：通过带电粒子束将表面刻蚀，可以用于制造各种微结构器件，例如微流控芯片和光子晶体等。
(6)等离子医学：医疗设备制造，癌症治疗和细胞培养等都有应用。
