真空表面处理机相关的安全预防措施
1、关闭小型真空等离子表面处理机设备电源开关，切断总电源保护器。
2、关闭所有的气体。
3、准备必要的工具包。
4、是维护保养真空腔和真空发生系统：
（1）真空腔是加工工件的工作区域，使用一定时间后，空腔内会残留部分污物，这些污物附着在电极板和空腔壁上。
清洗方法：连续使用一定时间后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。
（2）观察窗是指工作人员在工作时观察真空等离子表面处理机腔体内放电的用的，在使用了气体蚀刻之后，会造成观察窗的表面发生微蚀，使观察窗变得模糊。等离子处理设备是一种高技术的设备，能够在微观尺度上进行清洗和表面改性。其原理是借助于等离子体反应生成活性气体，并使这些气体与待处理物表面发生碰撞作用，从而实现对物体表面的清洗和改性。以下将详细介绍等离子处理设备的原理。
一、等离子状态
等离子状态是常见物质状态之一，类似于固态、液态、气态以及波动态。等离子体是由气体或者液体中的分子或原子组成的高温、高能带电粒子集合体，其特点之一是其具有自激励性质，即在一定情况下，它们能够释放出足够的能量来促使更多原子或分子进入等离子态。
二、等离子处理设备的基本原理
等离子处理设备利用等离子变化能够产生的大量质子、氧离子、氮离子、硅离子等带异性质的粒子，并加速这些粒子，将它们引导到待处理物表面，这些粒子与物体表面的原子或者分子碰撞后，会释放出巨大的能量，这个过程称为离子表面交互反应过程。这些反应产生的碰撞粒子的能量所激发物体表面分子的原子层具有不同的效应，如化学反应、物理反应和结构变化等。
三、等离子处理设备的操作过程
等离子处理设备由等离子发生器、等离子喷雾装置、真空泵系统和控制系统等部分组成。其工作流程包括以下几个步骤：
1.真空抽除：将待处理物置于等离子处理室中，开启泵系统，将气体排出，形成真空环境。
2.等离子振荡：通过高频电源产生感应电场，将气体激励起来，从而产生等离子体。
3.等离子扩散：等离子体向外扩散，与待处理物接触并发生离子表面交互反应，从而实现对物体的清洗和改性。
4.进料：对待处理的物体进行进料，并使其暴露在等离子体前缘处。
5.等离子处理：对待处理的物体进行等离子表面交互反应，从而实现清洗和改性的目的。
6.结束处理：当处理完成后，要将气体排出，并关闭设备。
四、等离子处理设备的应用
等离子处理设备已广泛应用于各种领域。在电子行业中，它被用于微电子制造和集成电路清洗；在医疗行业中，它被用于杀菌和消毒；在化学工艺中，它被用于表面喷涂和材料改性；在环保治理中，它被用于废水处理和气态污染物处理。其利用等离子技术，既能达到有效、环保的处理效果，又不会对待处理物体造成损伤，成为一种非常有前途的清洗和改性的方法。
综上所述，等离子处理设备通过产生等离子体反应生成活性气体，实现对物体表面的清洗和改性。该技术已经得到广泛应用，在电子、医疗、化学、环保等领域都有着重要的作用。当今，等离子处理技术被广泛应用于材料表面处理和改性方面。 它通常使用在气体相反应室中产生的高温、高能量电离气体等离子体来处理物质表面。 等离子体是一种由高能离子、原子和自由基组成的高度活跃的气态。
等离子体产生的方式有许多种，包括电弧放电、RF放电、微波放电、脉冲放电等。不同类型的等离子发生器会影响到等离子锅炉的工作效率和特征，这也是一个非常重要的问题。
而将等离子体应用于材料表面处理上，则可以通过等离子体的高能量作用于物质表面来改变其化学和物理性质，即所谓的等离子处理。等离子处理可以使物料表面结构发生改变，进而提高其化学惰性、耐磨性、耐腐蚀性和界面附着性等性能。
等离子处理的机理主要来自于等离子体对表面的化学性质和结构具有显著的影响。 高能量等离子体中存在大量自由基、激发态原子和离子，这些活性物质能够与材料表面上的化学成分进行反应，并导致表层物质发生化学变化。
例如，氧离子在等离子处理中可以被用来氧化表面，从而使表面生成一定厚度的金属氧化物。 与此同时，离子轰击和沉积可以导致表层物质生长、缩短撞击而导致失踪， 钝化表面原子并提高界面深度和耐久性。 等离子处理还可激活材料表面，促进其吸附和润湿性能。
值得注意的是，等离子处理后多久有效受到许多因素的影响，包括表面材料的种类和形状、等离子体处理参数和条件、环境湿度、温度等。在实践中， 大多数等离子处理数据都是通过定期测试表面性能的总体变化来确定其有效时间。
近年来，随着等离子处理技术的不断发展和完善，已经发展出了许多新型的等离子发生器和处理方法，如等离子共聚变（ICP）和微波气体放电等离子体等。 这些新技术的应用，为以后改进、提高等离子处理效果和表面材料性能提供了重要方法。
总之，等离子处理是一种主要通过改变物料表面结构、形态和化学组成来增强其性能的表面工艺方法。 实际运用中，等离子处理的有效时间受到多个因素的影响。 等离子技术的进步也将不断完善等离子处理技术，并推动其更广泛的应用。
