真空等离子清洗机是一种有效、环保的表面清洗设备，广泛应用于半导体、光伏、医疗、航天等领域中。其清洗原理主要基于等离子体化学反应和物理作用相结合的过程。
一、真空
等离子清洗机的基本结构
真空等离子清洗机主要由注入系统、真空系统、等离子发生器、反应室及废气处理系统等组成。其中注入系统负责将清洗物料送到反应室内部，并注入待清洗气体；真空系统负责维持反应室内部的真空度；等离子发生器负责产生等离子体，并激活清洗气体；反应室则是清洗反应的关键部位，利用等离子体化学反应和物理作用进行表面清洗；废气处理系统则主要负责回收和处理清洗产生的废气。
二、等离子体化学反应的原理
等离子体是一种高能量带电气体状态，具有较高的离解度和反应活性。当高能量电场作用于清洗气体时，清洗气分子中的电子被撞出，并与其他分子或原子发生碰撞，形成离子、自由基等高活性物质。这些高活性的物质具有强氧化还原能力，可以加速杂质的去除、表面的去污以及钝化处理。同时，通过调节清洗气体、电场强度、反应时间和温度等参数，可以实现不同材料表面的清洗效果。
三、物理作用的原理
等离子体在带电的状态下，会聚集在物体表面，并通过静电吸引力使物质与等离子体产生相互作用，实现清洗。物理作用主要包括以下几种：
1.轰击清洗法，即利用等离子体粒子的高动能对杂质进行轰击，将其从物体表面清洗出来。
2.消蚀清洗法，即利用等离子体中的高能离子打击表面材料，实现深度清洗。
3.离子注入法，即利用等离子体中的离子对材料表面进行注入改性。
4.表面硬化法，即由等离子体引起的高速响应热震导致表面结构的组织变化，增强表面的硬度和耐腐蚀性。
四、真空等离子清洗机的清洗优势
1.有效：真空等离子清洗机具有高能量、高反应速度等特点，可快速清洗复杂表面上的污染物和粘附杂质。
2.环保：清洗过程不含有任何有害化学药品，对环境无污染。
3.安全：在清洗过程中，没有明火、爆炸等安全隐患，操作更加稳定与安全。
4.兼容性好：真空等离子清洗机可以适用于多种类型材料的清洗，如金属、玻璃、塑料、陶瓷等。
5.表面质量优异：采用真空等离子清洗技术可以达到纳米级别的清洗效果，使得清洗后的材料表面平整、光滑，光致反射率增强，提高其光电性能。同时，通过钝化处理等措施，可以大幅减轻材料表面氧化、锈蚀等问题，延长使用寿命。等离子体表面处理与常规处理的对比
等离子体表面处理
通过放电装置将电离的等离子体中的电子或离子打到承印物表面，一方面，可以打开材料的长分子链，出现高能基团；另一方面，经打击使薄膜表面出现细小的针孔，同时还可使表面杂质离解、重解。电离时放出的臭氧有强氧化性，附着的杂质被氧化而除去，使承印物表面自由能提高，达到改善印刷性能的目的
电晕处理
利用高频（中频）高压电源，在放电刀架和刀片的间隙产生一种电晕释放现象，用这种方法对塑料薄膜在印刷前进行表面处理，叫电晕处理，也称电子冲击或电火花处理。其处理作用为：通过放电，使两极之间的氧气电离，产生臭氧，臭氧是一种强氧化剂，可以立即氧化塑料薄膜的表面分子，使其由非极性转化为极性，表面张力得到提高。电子冲击后，使薄膜表面产生微凹密集孔穴，使塑料表面粗化，增大表面活性。
化学处理法
印刷前利用氧化剂对PP、PE塑料薄膜的表面进行处理，使其表面生成羟基、羰基等极性集团，同时得到一定程度的粗化，以提高油墨与塑料薄膜的表面结合牢度。
化学处理法是应用较早的一种表面处理法，对于印刷，复合前薄膜的表面处理效果好，使用简便、经济，但需较长的处理时间影响了生产效率。并且处理液一般都具有化学侵蚀性，造成环境污染及对人体的危害，目前较少采用这种工艺，一般只在不便使用其他处理方法的情况下才采用这种表面处理工艺
光化学处理法
一般是利用紫外线照射高聚物表面，使其引起化学变化，达到改善表面张力，提高润湿性和粘合性的目的。和电晕处理一样，紫外线照射也能使高聚物表面发生裂解、交联和氧化。
要想得到较好的光化学处理效果，必须选择适当波长的紫外线，例如用波长为184mm的紫外线照射聚乙烯表面，能使其表面发生交联，但如改用2537A的波长则难有相同的效果。
火焰处理法
适用于小型塑料容器的表面处理，其目的在于用高温使表面去污，并溶化膜层表面，提高表面粘附油墨的性能。
聚烯烃经火焰处理后形成了极性基团，润湿性得以改善，而粘接性的改善则由于极性基团改善了润湿性以及产生断链而相对改善。
火焰处理效果较好，无污染，成本低廉，但操作要求严格，如不小心会导致产品变形，使成品报废。目前主要应用于较厚的塑料制品的表面处理。
防静电处理
塑料薄膜印刷中的静电会给操作带来一系列难题，直接影响印品的产量和质量。例如，在印刷小包装塑料薄膜时，由于静电粘连，薄膜间处于缺氧状态，会阻碍塑料印墨层固化的过程，若遇高温高湿环境，更易形成墨层粘连，轻则使印刷墨色移染，增加印刷、分切、整理等工序的难度，重则薄膜互相粘连，撕不开，造成印品报废。另外制袋后的储运、存放过程中也会不断放电，既影响热封又影响袋内实物与空间层次的透明度。在印刷大幅面薄膜时，因为生成的静电多，在机速高、树脂中未掺有抗静电剂的情况下，很可能引起火灾或爆炸事故。
塑料薄膜的静电形成是由于PE和PP具有优良的介电性能、电阻高、导电性差，薄膜在挤出收卷过程中因摩擦而产生静电，在印刷过程中使静电进一步产生和积累，并不易释放，使薄膜表面聚积大量的静电荷。印刷薄膜收卷后，薄膜与薄膜之间紧紧地卷在一起，使电荷不利于排斥而利于吸引，造成粘合。等离子表面处理的处理工艺
1.等离子表面处理过的表面，无论是塑料，金属还是玻璃都能获得表面能的提高，通过这样的处理工艺，制品的表面状态才能充分满足后续的涂装，粘接等工艺的要求。
2.常压等离子表面处理具有极为广泛的应用领域，这使其成为行业中广受关注的核心表面处理工艺。通过使用这种创新的表面处理工艺，可以实现现代制造工艺所追求的高品质，高可靠性，率，低成本和环保等目标
3.等离子态(Plasma)被称为是物质的四态，我们知道，给固态增加能量可使之成为液态，给液态增加能量可使之变成气态，那么，给气态增加能量则能变成等离子态。
4.等离子表面处理器在印刷包装行业的应用，采用等离子表面处理器处理胶结面工艺可以极大的提高粘接强度，降低成本，粘接质量稳定，产品一致性好，不产生粉尘，环境洁净。
5.等离子表面处理器在汽车行业的应用，在目前已经广泛的应用于车灯、各种橡胶封条、内饰、刹车块、雨刮器、油封、仪表盘、安全气囊、保险杠、天线、发动机密封、GPS、DVD、仪表、传感器，汽车的门封条。
