当今，等离子处理技术被广泛应用于材料表面处理和改性方面。 它通常使用在气体相反应室中产生的高温、高能量电离气体等离子体来处理物质表面。 等离子体是一种由高能离子、原子和自由基组成的高度活跃的气态。
等离子体产生的方式有许多种，包括电弧放电、RF放电、微波放电、脉冲放电等。不同类型的等离子发生器会影响到等离子锅炉的工作效率和特征，这也是一个非常重要的问题。
而将等离子体应用于材料表面处理上，则可以通过等离子体的高能量作用于物质表面来改变其化学和物理性质，即所谓的等离子处理。等离子处理可以使物料表面结构发生改变，进而提高其化学惰性、耐磨性、耐腐蚀性和界面附着性等性能。
等离子处理的机理主要来自于等离子体对表面的化学性质和结构具有显著的影响。 高能量等离子体中存在大量自由基、激发态原子和离子，这些活性物质能够与材料表面上的化学成分进行反应，并导致表层物质发生化学变化。
例如，氧离子在等离子处理中可以被用来氧化表面，从而使表面生成一定厚度的金属氧化物。 与此同时，离子轰击和沉积可以导致表层物质生长、缩短撞击而导致失踪， 钝化表面原子并提高界面深度和耐久性。 等离子处理还可激活材料表面，促进其吸附和润湿性能。
值得注意的是，等离子处理后多久有效受到许多因素的影响，包括表面材料的种类和形状、等离子体处理参数和条件、环境湿度、温度等。在实践中， 大多数等离子处理数据都是通过定期测试表面性能的总体变化来确定其有效时间。
近年来，随着等离子处理技术的不断发展和完善，已经发展出了许多新型的等离子发生器和处理方法，如等离子共聚变（ICP）和微波气体放电等离子体等。 这些新技术的应用，为以后改进、提高等离子处理效果和表面材料性能提供了重要方法。
总之，等离子处理是一种主要通过改变物料表面结构、形态和化学组成来增强其性能的表面工艺方法。 实际运用中，等离子处理的有效时间受到多个因素的影响。 等离子技术的进步也将不断完善等离子处理技术，并推动其更广泛的应用。一、等离子设备日常维护
（一） 等离子发生器的维护
定期清理等离子发生器内部的外壳及排气口灰尘。建议至少每月检查一次；
定期更换等离子源体；
定期检查掌握等离子发生器的加工系统参数，确保其正常工作；
注意等离子源的调整，增大等离子体流量，经常清洗导体；
（二）易损件维护
定期检查并更换设备中的易损件，如膜片、密封圈、电极等，防止其损坏影响设备正常工作；
每半年对快门杆和气压控制进行检查和校准，避免出现误差。
（三）其他维护注意事项
定期更换老化、损坏的电缆线；
定期校准空气压力表和温度计等，确保其精确度；
加油、更换机器油。
二、等离子设备故障排除
如果出现故障，需要先确定故障原因才能进行修理。以下是常见故障排除方法：
（一）等离子体丢失或流量减少
检查配合的真空泵是否正常开启，系统管道是否漏气。
检查减压阀门是否被堵塞；
检查氧流量计、气体流量计、陶瓷燃烧嘴等部件是否有损伤。
（二）设备火花分析效果差
先检查离子发生器内部是否有杂质；
调整电极间距，确认装置无松动现象；
更换发光信号纸片窑。在线等离子清洗机在清洗对象的工艺处理效率
一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序，可以提高整个工艺流水线处理效率;
二、在线等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；
四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用在线等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；
六、在线等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
七、使用在线等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；
八、在线等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。
