等离子清洗机主要由三大部分组成：
1. 控制单元。现在的等离子清洗机主要有全自动控制、半自动控制、PC控制、液晶触摸屏控制四种控制单元，而控制单元主要由电源、控制系统、控制按钮和操作显示器等部分组成。
2. 真空腔体。真空腔体就是用于清洗对象物的空间，主要有石英腔体和不锈钢真空腔体。由于其内部采用真空灭菌防菌以及等离子清洗法，对于腔体压力的承受有着一定的要求，所以需要采用材质较好的腔体进行配置。
3. 真空泵。等离子清洗机的主要动力来源就是真空泵，主要作用是将真空腔体中的空气抽干，达到真空的环境，然后再进行等离子清洗。真空泵主要分为干泵和油泵。干泵主要以电力为动力源，而油泵则使用汽油或柴油为动力源。
大气等离子处理机提供各种修改表面的方法
一、处理机对象经等离子处理机之后是干燥的，可以提高整个工艺流水线的处理效率；
二、等离子处理机使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性;
四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好;
五、使用等离子处理机，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点。
六、等离子处理机需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;
七、使用等离子处理机，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生;
八、等离子处理机可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;
九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。等离子清洗机在运行的时候应该要注意哪些事项呢？
1、正确设置等离子设备的运行参数,按时设备使用说明书来执行;
2、保护好等离子体的点火装置,以确保等离子清洗机可以正常的启动;
3、等离子设备在启动前的准备工作,要对相关的人员进行培训,同时确保操作等离子清洗机的人员可以按照要求严格执行各项操作;
4、在一次风管没有通风的时候,等离子体的发生器运行时间不能超过设备说明书上面要求的时间,防止烧坏燃烧器,造成不必要的损失;
5、如果需要对等离子设备进行维护时请将等离子发生器进行断电后再进行相应的操作。
