真空表面处理机相关的安全预防措施
1、关闭小型真空等离子表面处理机设备电源开关，切断总电源保护器。
2、关闭所有的气体。
3、准备必要的工具包。
4、是维护保养真空腔和真空发生系统：
（1）真空腔是加工工件的工作区域，使用一定时间后，空腔内会残留部分污物，这些污物附着在电极板和空腔壁上。
清洗方法：连续使用一定时间后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。
（2）观察窗是指工作人员在工作时观察真空等离子表面处理机腔体内放电的用的，在使用了气体蚀刻之后，会造成观察窗的表面发生微蚀，使观察窗变得模糊。在线等离子清洗机在清洗对象的工艺处理效率
一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序，可以提高整个工艺流水线处理效率;
二、在线等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；
四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用在线等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；
六、在线等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
七、使用在线等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；
八、在线等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。等离子清洗机在运行的时候应该要注意哪些事项呢?
1、正确设置等离子设备的运行参数,按时设备使用说明书来执行;
2、保护好等离子体的点火装置,以确保等离子清洗机可以正常的启动;
3、等离子设备在启动前的准备工作,要对相关的人员进行培训,同时确保操作等离子清洗机的人员可以按照要求严格执行各项操作;
4、在一次风管没有通风的时候,等离子体的发生器运行时间不能超过设备说明书上面要求的时间,防止烧坏燃烧器,造成不必要的损失;
5、如果需要对等离子设备进行维护时请将等离子发生器进行断电后再进行相应的操作。
