等离子体放电过程中产生臭氧的基本原理是含氧气体在放电反应器内所形成的低温等离子体氛围中，一定能量的自由电子将氧分子分解成氧原子，之后通过三体碰撞反应形成臭氧分子，同时也发生着臭氧的分解反应。
臭氧，化学分子式为O3，又称三原子氧、超氧，因其类似鱼腥味的臭味而得名，在常温下可以自行还原为氧气。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子携带一个氧原子组成，决定了它只是一种暂存状态，携带的氧原子除氧化用掉外，剩余的又组合为氧气进入稳定状态，所以臭氧没有二次污染。
如果我们通入的气体中含有氧气，那么在反应过程中就会产生少量的臭氧，正是因为有臭氧的产生，所以我们在使用按接电方法不同，等离子弧有三种形式：
①非转移弧：指在阴极和喷嘴之间所产生的等离子弧。这种情况正极接在喷嘴上，工件不带电，在阴极和喷嘴的内壁之间产生电弧，工作气体通过阴极和喷嘴之间的电弧而被加热，造成全部或部分电离，然后由喷嘴喷出形成等离子火焰(或叫等离子射流)。
等粒子喷涂采用的就是这类等离子弧。
②转移弧：电弧离开喷枪转移到被加工零件上的等离子弧。这种情况喷嘴不接电源，工件接正极，电弧飞越喷枪的阴极和阳极（工件）之间，工作气体围绕着电弧送入，然后从喷嘴喷出。
等离子切割，等离子弧焊接，等离子弧冶炼使用的是这类等离子弧。
③联合弧:非转移弧引燃转移弧并加热金属粉末，转移弧加热工件使其表面产生熔池。这种情况喷嘴，工件均接在正极。等离子清洗机与传统的工艺对比
1、能够采用精准数控技术，清洗自动化程度高；具备高精度的控制装置，时间控制的精度高；正确的等离子体清洗不会在其表面产生损伤层，产品表面质量得以保证；清洗过程在真空环境中进行，这是一种环保清洗工艺不污染环境，且有效避免了人为因素的影响，清洗表面不会被二次污染。
2、诸多材料在需要进行粘合前，都要进行清洗改变其表面张力，提升粘合力。等离子物质和表面有机污染物发生化学反应，形成废气被真空泵抽出，从而对清洗材料表面达到清洗的目的。经测试表明清洗前和清洗后的表面张力的变化显著，能够有助于下一步粘结工序的操作。表面喷涂前对材料进行表面改性处理，能够改善材料的喷涂效果。一些化学材料如PP或者其他化学材料，本身是疏水或者亲水，却也可以一样通过上述工艺进行等离子清洗，对其材料表面进行改性，让它的亲水性或疏水性得到改善，便于下一步喷涂工艺。
3、等离子清洗机具有在线生产能力，并可实现全自动化。等离子体清洗是一种极为环保的工艺方法，基本不受几何形状的限制，可对粉剂、小零件、片材、无纺布、纺织品、软管、中空体、印刷电路板等进行表面处理。对零部件不会发生机械改动，是一种无损工艺；且满足无尘室等苛刻条件，使用方便灵活操作简单，对各种形状的零部件有着显著的处理效果，工艺条件可控并且成本低、效果好、时间短。经过处理的产品外观不会受到等离子体处理的高低温影响，零部件受热较少。等离子清洗机具有运行成本低，工艺安全性和作业安全性高的优点，也是一种处理后效果显著的清洗工艺流程。
