低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体，低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。等离子表面处理技术进行预处理的优点和特性：
1、具有完全的“在线”集成能力（不干扰原有的工艺运行） 节能、低成本、环保
2、不会改变铝箔的机械特性
3、可实现选择性的、局部清洗
4、可对铝箔进行双面处理
5、处理工序可以集成在卷绕装置前等离子清洗机与常规湿式清洗比较的主要优点是：
①将氧作为清洗剂，它价格低也不需要进行处理;
②可连续供应新鲜的处理气体，不存在清洗剂的老化问题;
③封闭室式操作不要求特别的职业性安全措麓;
④因为不需要干燥，故能耗低;
⑤造成的废料仅仅是少量的象CO2和H2O气这样的气体。
因注意到的很重要的一点是无任何溅射发生。有机物的清洗仅仅由它同活性氧的化学反应来实现。碳氢化合物的链分几步陆续被破坏，*终形成的CO2和H2O气体被真空泵抽走。不与处理气体反应的无机材料当然不会被清除。
