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技术交流

等离子体处理机的水平电极设计

发布时间:2020/6/3 8:15:15 | 信息来源:
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1.表面等离子体波是在两种界面附近存在的波,界面两侧的折射率分布对场分布有很大的影响,利用这一点能够进行传感。目前利用Kretschmann结构进行生物传感的技术已经得到了极大的发展,这种传感技术结构简单,灵敏度高,检测过程中无需标记物,可实时监测样品结合过程,传感芯片可重复利用,响应速度快等诸多特点。目前该技术可用于气体、 液体和有机薄膜等分析,目前主要用于生命科学和化学领域。目前市场上主要产品有瑞典Biocore AB公司生产的Biocore 3000等。

表面等离子体技术应用

2.
表面等离子体波具有局域分布的特性,而且其分布深度可小于波长量级,突破衍射极限,使得表面等离子体波能够应用于制作亚波长量级的光电子器件的生产,有利用光电子集成器件的制作。例如:可以制作亚波长量级的波导,亚波长量级的布拉克反射镜,亚波长量级的透镜等。由于能够突破极限,所以能够应用表面等离子体效应来做近场显微镜,做曝光等等。

3.
表面等离子体波在太阳能电池和LED等新型能源相关器件方面的应用。目前可以在太阳能电池上利用表面等离子体效应来提高太阳能电池的光电转换效率,同样也可以在LED上应用表面等离子体效应提高其出光效率。如果能研制出商业化的产品,那么对于解决人类的能源问题,表面等离子体波也能贡献自己的一份力量。等离子清洗机和超声波清洗机是目前清洗工艺比较好的两种设备,在使用等离子清洗机都过程中,等离子清洗机的物理化学作用有哪些?
 
1)对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
 
2)激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
 
3)形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。大气等离子体处理机对HDI,柔性和刚性电路板制造进行了去污和回蚀作业。它结合了市场领先的等离子技术,结合基于多年经验的应用特定开发。

   
可扩展等离子体系统,可以从48个等离子体电池升级,随着生产要求和操作而增长,是处理低容量,高混合物产品的中小型企业或研发机构的理想选择,旨在满足不断变化的生产环境,等离子体系统在其前身PCB-800/1600及其同时代系统之间保持了完美的平衡。该室仍然是纯粹的PCB系列”的尺寸和功能,但其他一切都已升级系列技术 ,从气体分配和泵包到用户界面和控制参数。通过共享类似的组件和接口,可以更轻松地提高等离子体处理PCB面板的容量。系统可以处理低容量,高混合度的产品,是中小型企业或研发机构的理想选择。随着生产量的增加,系统可以从四个等离子体电池升级到*多八个等离子体电池。

   
与其他系列等离子体系统类似,是独立的,需要*小的占地面积。底盘装有等离子体室,控制电子设备,40 kHz射频发生器,泵/鼓风机组合和自动匹配网络。可以从前面板或后面板进行维护检修。

   
等离子体室由优质铝制成,具有出色的耐用性。该腔室设计用于在单独的等离子体电池中处理PCB面板,以提供具有优异处理均匀性的高蚀刻速率。

 
等离子体处理系统

   
大气等离子体处理机使用单步过程提供了柔性材料两侧的业界领先的等离子体处理均匀性。它是一个独立的真空等离子体处理系统,具有节省空间的紧凑型底盘,具有两个易于访问的前装载门。双机架等离子体室可在一个周期内容纳多达十八个20x 24”面板,每小时可达80-120个单位(UPH)。FlexVIA系统的先进的水平电极设计,集成了机架,可提供等离子体处理均匀性的*佳材料对准。它也不需要使用昂贵的氟气。相反,利用环境友好且具有成本效益的气体等离子体溶液如氩气(Ar)和氧气(O2)。

   
等离子体处理系统其先进的水平电极设计,集成了机架,提供了*佳的材料对准,而双机架式机箱可以在一个周期内容纳多达三十个20x 24”的面板,使每小时可达140-200单位。是一种完全独立的真空处理系统,具有集成的卷对卷材料处理,用于生产PCB制造环境。等离子体处理均匀性是表面激活,去除和回蚀应用中柔性电路板制造技术的关键操作特性。集成的卷对卷材料处理系统确保精确控制薄至25微米的基材的辊速度,张力和边缘引导。基于光学的边缘引导检测允许在倒带操作期间可靠的控制。底板加载简单,可通过四个门轻松访问装载部分。有三种配置可满足各种生产需求。

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