低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体，低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子体产生的条件：足够的反应气体和反应气压，反应产物须能高速撞击清洗物的表面，具有足够的能量供应，反应后所产生的物质必须是可挥发性的细微结合物,以便于真空泵将其抽走，泵的容量和速度须足够大,以便迅速排出反应的副产品,并且需要快速地再填充反应所需的气体。
等离子清洗机为什么会产生臭味？
答案是：臭氧在作怪
等离子体放电过程中产生臭氧的基本原理是含氧气体在放电反应器内所形成的低温等离子体氛围中，一定能量的自由电子将氧分子分解成氧原子，之后通过三体碰撞反应形成臭氧分子，同时也发生着臭氧的分解反应。
臭氧，化学分子式为O3，又称三原子氧、超氧，因其类似鱼腥味的臭味而得名，在常温下可以自行还原为氧气。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子携带一个氧原子组成，决定了它只是一种暂存状态，携带的氧原子除氧化用掉外，剩余的又组合为氧气进入稳定状态，所以臭氧没有二次污染。
如果我们通入的气体中含有氧气，那么在反应过程中就会产生少量的臭氧，正是因为有臭氧的产生，所以我们在使用等离子清洗机的时候有时会闻到一股臭味，这就是为什么等离子清洗机会产生臭味的原因了。等离子清洗机与传统的工艺对比
1、能够采用精准数控技术，清洗自动化程度高；具备高精度的控制装置，时间控制的精度高；正确的等离子体清洗不会在其表面产生损伤层，产品表面质量得以保证；清洗过程在真空环境中进行，这是一种环保清洗工艺不污染环境，且有效避免了人为因素的影响，清洗表面不会被二次污染。
2、诸多材料在需要进行粘合前，都要进行清洗改变其表面张力，提升粘合力。等离子物质和表面有机污染物发生化学反应，形成废气被真空泵抽出，从而对清洗材料表面达到清洗的目的。经测试表明清洗前和清洗后的表面张力的变化显著，能够有助于下一步粘结工序的操作。表面喷涂前对材料进行表面改性处理，能够改善材料的喷涂效果。一些化学材料如PP或者其他化学材料，本身是疏水或者亲水，却也可以一样通过上述工艺进行等离子清洗，对其材料表面进行改性，让它的亲水性或疏水性得到改善，便于下一步喷涂工艺。
3、等离子清洗机具有在线生产能力，并可实现全自动化。等离子体清洗是一种极为环保的工艺方法，基本不受几何形状的限制，可对粉剂、小零件、片材、无纺布、纺织品、软管、中空体、印刷电路板等进行表面处理。对零部件不会发生机械改动，是一种无损工艺；且满足无尘室等苛刻条件，使用方便灵活操作简单，对各种形状的零部件有着显著的处理效果，工艺条件可控并且成本低、效果好、时间短。经过处理的产品外观不会受到等离子体处理的高低温影响，零部件受热较少。等离子清洗机具有运行成本低，工艺安全性和作业安全性高的优点，也是一种处理后效果显著的清洗工艺流程。
