实验中当我们想要对各种材料的表面做清洗活化腐蚀沉积或者聚合等操作的时候，必不可少的就是一台低温等离子处理设备，而作为实验室经常使用的高精尖设备，如果使用低温等离子设备的操作不当很有可能导致设备损坏或者运行结果受到影响，低温等离子清洗设备使用的注意事项。
一，低温等离子清洗设备在运行的时候对于电源的要求是220V的交流电频率为50HZ的电源，应该在开启设备之前做好电源的连接和检查工作，设备运行之后应该发出的是平稳的运转声，而且通常会有绿色的指示灯常亮来显示设备正常运行，如果出现黄色故障灯亮起，则要停止运行进行排休检查。
二，在使用三和波达低温等离子清洗设备的时候，应该特别注意红色的警示灯，通常设备运行出现问题或者抖动频率过快的情况下红色灯会常亮，这个时候应该马上按下复位键观察设备，如果设备依然出现异常则应该停止设备的运行，然后进行故障的排查，以避免设备出现损坏。
三，在使用低温等离子清洗设备的时候要定期清洗，而清洗的时候必须要先断开电源，然后再打开真空仓和电控箱，而且注意按照说明书上要求的规范清洗，除此之外现在很多低温等离子设备的真空仓都是外置环形电级所以不容易出现腔内污染。
综上所诉可知：等离子清洗技术适用于对物体表面的油，水及微粒等轻度油污进行清洗，而且利于“速战速决”的在线或批量清洗。以上提到的几点基本上是所有类型的低温等离子清洗设备的使用注意事项，而随着设备的种类日渐繁多，操作人员在使用前应该详细阅读并了解使用说明才行，很多低温等离子设备还需要操作人员受到上岗培训才行。而且随着很多低温等离子设备开始带有自洁功能，设备的日常保养也变得更加简洁。等离子体放电过程中产生臭氧的基本原理是含氧气体在放电反应器内所形成的低温等离子体氛围中，一定能量的自由电子将氧分子分解成氧原子，之后通过三体碰撞反应形成臭氧分子，同时也发生着臭氧的分解反应。
臭氧，化学分子式为O3，又称三原子氧、超氧，因其类似鱼腥味的臭味而得名，在常温下可以自行还原为氧气。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子携带一个氧原子组成，决定了它只是一种暂存状态，携带的氧原子除氧化用掉外，剩余的又组合为氧气进入稳定状态，所以臭氧没有二次污染。
如果我们通入的气体中含有氧气，那么在反应过程中就会产生少量的臭氧，正是因为有臭氧的产生，所以我们在使用真空等离子表面处理机活化特点：
在等离子体作用下，难粘塑料表面出现部分活性原子、自由基和不饱和键，这些活性基团与等离子体中的活性粒子接触会反应生成新的活性基团。但是，带有活性基团的材料会受到氧的作用或分子链段运动的影响，使表面活性基团消失。
在等离子体对材料表面改性中，由于等离子体中活性粒子对表面分子的作用，使表面分子链断裂产生新的自由基、双键等活性基团，随之发生表面交联、接枝等反应。
反应型等离子体是指等离子体中的活性粒子能与难粘材料表面发生化学反应，从而引入大量的极性基团，使材料表面从非极性转向极性，表面张力提高，可粘接性增强。
此外，难粘材料表面在等离子体的高速冲击下，分子链发生断裂交联，使表面分子的相对分子质量增大，改善了弱边界层的状况，也对表面粘接性能的提高起到了积极作用”。
反应型等离子体活性气体主要是02、H：、NH3、C02、H20、S02、H√H20、空气、甘油蒸汽和乙醇蒸汽等。
