低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体，低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。等离子清洗机与常规湿式清洗比较的主要优点是：
①将氧作为清洗剂，它价格低也不需要进行处理;
②可连续供应新鲜的处理气体，不存在清洗剂的老化问题;
③封闭室式操作不要求特别的职业性安全措麓;
④因为不需要干燥，故能耗低;
⑤造成的废料仅仅是少量的象CO2和H2O气这样的气体。
因注意到的很重要的一点是无任何溅射发生。有机物的清洗仅仅由它同活性氧的化学反应来实现。碳氢化合物的链分几步陆续被破坏，*终形成的CO2和H2O气体被真空泵抽走。不与处理气体反应的无机材料当然不会被清除。等离子体技术表面接枝处理
以等离子体接枝聚合进行材料表面改性，接枝层同表面分子以共价键结合，可获得优良、耐久的改性效果。美国曾将聚酯纤维进行辉光放电等离子体处理与丙烯酸接枝聚合，改性后纤维吸水性大幅度提高，同时抗静电性能也有改善。
行业应用特点
●具有工艺简单、操作方便、加工速度快、处理效果好、环境污染小、节能等优点；
●等离子体技术在塑料元件的改性工艺中，提高了塑料的润湿率；
●等离子体化技术应用于塑料窗用玻璃、汽车百叶窗和氖灯、卤天灯的反光镜处理；
●涤纶纤维坚固耐穿，但其结构紧密、吸水性差、难染色，采用低温氮等离子体引发丙烯酰胺对涤纶织物进行接枝改性，接枝后涤纶织物的上染百分率、染色深度及亲水性都有明显提高；
●用等离子体处理聚丙烯膜，引入氨基，再通过共价键接枝，固定上葡萄糖氧化酶，接枝率分别达52μg/cm2和34μg/cm2；
●等离子体对医用材料表面处理，可引入氨基、羰基等基团，生物活性物质与这些基团接枝反应可固定于材料表面；
