等离子体放电过程中产生臭氧的基本原理是含氧气体在放电反应器内所形成的低温等离子体氛围中，一定能量的自由电子将氧分子分解成氧原子，之后通过三体碰撞反应形成臭氧分子，同时也发生着臭氧的分解反应。
臭氧，化学分子式为O3，又称三原子氧、超氧，因其类似鱼腥味的臭味而得名，在常温下可以自行还原为氧气。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子携带一个氧原子组成，决定了它只是一种暂存状态，携带的氧原子除氧化用掉外，剩余的又组合为氧气进入稳定状态，所以臭氧没有二次污染。
如果我们通入的气体中含有氧气，那么在反应过程中就会产生少量的臭氧，正是因为有臭氧的产生，所以我们在使用等离子技术针对电子元器件的防腐蚀涂层
对电子器件和组件提供有选择性防腐蚀保护以应对气候的影响对于各类产品的可靠性至关重要。现代轿车上的所有缺陷，几乎一半是由于气候引起的老化和电子元器件发生的腐蚀损害而造成的。即便是在极端温度条件下，对湿度、化学物质和有害气体进行防护，是避免这样的系统故障的必不可少的先决条件。
当前，主要是通过油漆、树脂或凝胶（硅）涂层来满足这些要求。然而，这些工艺的应用费力而又费时，在经济上和环保上都表现出局限性。通常使用的溶剂型涂层系统相对较厚且很难进行涂层区域选择。根据具体的保护涂层种类，可能还会出现如散热不良、吸收水分、涂层脱落或传感器信号衰减等缺陷。
而利用等离子技术，可有效沉积超薄、透明和绝缘的防老化等离子聚合涂层，并有选择性的保护电子器件，特别是印刷电路板。该涂层高效的防护阻隔作用，不仅会延长产品的寿命、提高产品的安全性，还将显著降低成本。等离子清洗机被广泛使用的原因：
1、环保
等离子体起到作用的过程时气到固体的相干式的，过程中不消耗水资源，也不需要添加化学药剂，对于周围的环境没有污染。
2、广泛性
使用等离子清洗机一般是不分处理对象的基本材料类型，都可以进行处理，对于金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，例如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺甚至是聚四氟乙烯等等都可以得到很好的处理，并且可以实现整体以及局部以及负责的结构进行清洗处理。
3、功能性强
等离子清洗机不仅涉及道路高分子材料浅表面，可以在保持材料自身特性的同时，有赋予了一种或者多种的新功能。
4、温度低
等离子清洗机接近常温，特别适合用于高分子材料，比使用电晕已经火焰的方法有很长的保存时间和比较的表面处理张力。
5、成本低
等离子处理装置简单，易于操作和维修，可以连续的运行，往往几瓶的等离子气体就可以代替数千公斤的清洗液，因此清洗的成本会大大的降低与湿法清洗。
6、全称可控工艺
等离子清洗机几乎所有的参数都可以由电脑设置和数据记录，进行质量控制。
7、处理物的几何形状无限制
使用等等离子清洗机处理的物体，其或大或小，形状简单或者复杂，部件或纺织品都可以进行处理。
