低温等离子体技能在废气处理中的使用跟着工业经济的开展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等职业发作的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不只会在大气中逗留较长的时刻，还会分散和漂移到较远的当地，给环境带来严峻的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康发作极大的损害；另外工业烟气的无操控排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的损害引起了各国的重视。因为大气受污染而酸化，导致了生态环境的损坏，严重灾祸频繁发作，给人类造成了巨大损失。因而挑选一种经济、可行性强的处理办法势在必行。
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理办法如吸收、吸附、冷凝和焚烧等，
关于低浓度的VOCs很难完成，而光催化降解VOCs又存在催化剂简单失活的问题，使用
低温等离子体处理VOCs能够不受上述条件的约束，具有潜在的优势。但因为等离子体是一门包括放电物理学、放电化学、化学反响工程学及真空技能等基础学科之上的交叉学科。因而, 现在能老练的把握该技能的单位非常的少。大部分宣扬选用低温等离子技能处理废气的宣扬都不是真实意义上的低温等离子废气处理技能。
