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等离子清洗机与常规湿式清洗比较的主要优点是：
①将氧作为清洗剂，它价格低也不需要进行处理;
②可连续供应新鲜的处理气体，不存在清洗剂的老化问题;
③封闭室式操作不要求特别的职业性安全措麓;
④因为不需要干燥，故能耗低;
⑤造成的废料仅仅是少量的象CO2和H2O气这样的气体。
因注意到的很重要的一点是无任何溅射发生。有机物的清洗仅仅由它同活性氧的化学反应来实现。碳氢化合物的链分几步陆续被破坏，*终形成的CO2和H2O气体被真空泵抽走。不与处理气体反应的无机材料当然不会被清除。
