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真空等离子清洗机对比传统清洗的优势

等离子清洗机在传统的湿法清洗是采用化学清洗的方法：如氢氧化氨/双氧水去除硅片表面的颗粒和有机物；用盐酸/双氧水去除表面金属；用氢氟酸去除表面自然氧化层；用硫酸/双氧水去除表面金属和有机物。
真空等离子清洗机湿法清洗作为传统的清洗方法依然还被应用，与现在等离子技术应用还是有很多缺点：
1、不能精确控制；
2、容易引入新的杂质；
3、对残余物不能处理；
4、消耗大量的酸和水；
5、清洗不彻底，需反复清洗；
6、污染环境，需对废液进行处理；

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