一、由于常压等离子的喷嘴中是直喷出的离子，这种情况由喷嘴的结构间接的改变了离子的运动方向（直接面对被处理材料）。从而使大气等离子在流水线上只能处理一个表面，这也是与真空等离子清洗*大的区别之一。真空等离子清洗机在工作中，腔体内部的离子是不定向的，只要材料在腔体裸露出的部分，不管是哪个面哪个角落都可以清洗得到。
二、在使用气体方面，大气型等离子工作时只需要接入压缩空气，当然想效果更好直接接入氮气。而真空型等离子清洗机在气体上会有更多的选择，并且可以选择多种气体进行匹配对材料表面氧化物、纳米级别微生物的去除有着极强的改善。在这里要强调的是：大气型通入气体的目的主要是为了活化，侵润性增强。而真空型通入气体的目的是为了增强蚀刻效果，去除污染物，去除有机物，侵润性增强等。显然气体的选择范围更广，真空等离子清洗的工艺会应用得更为广泛。
三、温度。大气等离子清洗机虽然处理材料几秒之后的温度在60°-75°左右，但这个数据是按照喷枪距离材料15mm，功率在500W，配合在三轴速度为120mm/s来测的。当然功率，接触时间，处理的高度都会对温度有所影响。特别注意的是：大气等离子清洗机喷枪工作时的喷出的“火焰”分为内焰和外焰，我们清洗时都是拿外焰去洗，内焰在喷嘴里面，从外面是看不到的。但是如果在喷出“火焰”的情况下长时间对着某一个点不运动进行处理很容易对表面产生灼烧。所以大气等离子的温度要在实际工况下才能测得具体数值。
而真空型等离子清洗机就没那么复杂，按电源频率划分，40KHz和13.56MHz为例：通常情况下材料放入腔体内工作，频率为40KHz一般温度为65°以下，再者机器内部装有强冷风扇，处理时间不长的话，材料表面温度都会跟室温一致。频率为13.56MHz的就会更低，通常情况是30°以下。所以处理一些受热易发生形变的材料，低温真空型等离子清洗机的是在再适合不过了。
四、离子产生条件，这个比较直观的就可以看出，大气型依赖接入气体，气体压力要达到0.2mpa左右才可以产生离子。而真空型则依赖于真空泵，产生离子之前，即使不接入任何外接气体，要将腔体内部的真空度抽到25pa以下才能产生离子。
