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真空等离子表面处理机,可以清洗哪些东西

发布时间:2019/9/5 8:22:04 | 信息来源:
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 真空等离子表面处理机,可以清洗哪些东西
      问:发现试验效果不佳,怎么办?
      请检查泵油是否变暗变脏,并及时更换。
      问:如果设备买不起辉光怎么办?
      1. 射频灯未能提供射频;
      2. 密封性可能存在漏气问题。
      问:如何检查射频灯的问题?
使用设备的标准测试灯管,将其放入主体,打开“RF”开关到“Hi”位置,并通过观察灯的状态来判断RF灯的问题(在此过程中不需要真空)。
      问:如何解决密封问题?
      1. 确保使用的真空泵能够达到或超过最小抽速1.4立方米每小时和极限负压不大于200mTorr;
      2. 然后检查真空软管、所有软管卡箍和气体进气管路连接件是否正确并拧紧,等离子清洗舱门是否正确关闭,门密封圈的地方是否清洁无缺陷。
      问:是否有任何建议的清洁工艺参数?
      答:射频功率级应设为中高档。600-800mt压力和1-3分钟的加工时间是较好工艺参数的初始值。最佳工艺参数将取决于样品材料和预期应用。需要进行一些实验来确定这些最佳值。
      问:如何测量真空负压值?
      答:我们可以购买相应的测量设备,如真空监测装置或气流混合器。
      问:为什么泵油会回来?
      答:如果配套泵是油泵,如果工艺完成后设备舱内压力没有立即降低,油可能会从真空油泵回流,造成污染系统。我们建议使用具有防回燃功能的真空泵。
      问:如何清洗真空腔内壁?

答:真空室的内壁、门和O形圈需要定期清洗。清洗方法请参照标准实验室玻璃器皿清洗方法,如浸泡在酒精、丙酮或异丙醇中或轻轻擦拭等离子室表面。

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