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等离子清洗机几种频率区别与运用

发布时间:2018-11-2 8:58:25 | 信息来源:
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等离子清洗机的频率有40KHZ,13.56MHz,2.45GHz这几种,其中前面两种较为常见,达因特作为专业生产等离子清洗机的厂家,为大家解析一下不同频率等离子的应用范围:

40kHz,属于中频频率,应用于真空等离子清洗机大腔体,特点是等离子能量高,但是等离子密度小,无需匹配,成本较低。常规是5千瓦至20千瓦。射频电源:频率13.56Mhz,功率0-600W可调,全自动真空电容匹配器。另可匹配中频电源,频率40KHz,功率0-5KW可调


13.56MHz,射频,最常用的电源,特点是等离子能量低,但是等离子密度高。效果均匀,而成本稍高。常规是100瓦至1000瓦。一般应用于常规的大气等离子清洗机。

2.45GHz,微波,成本太高,目前应用较少。

能够做等离子体表面活化,等离子体蚀刻,等离子涂层(PCVD)各种各样的材料和基板的所有方面的产业。许多客户使用场外等离子清洗和蚀刻服务时,他们的生产超过他们的内部能力,他们需要额外的帮助,以满足最后期限。

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