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真空脱泡机蒸汽流扩散泵
蒸汽流分散泵在历史上*早被用来取得高真空，现在仍广泛运用。它是运用气体分散现象来抽气的。分散泵按泵内作业液体的品种来分，有汞泵和油泵两种。因汞蒸汽有毒，除特殊场合外，现已防止运用。按结构资料来分，有玻璃和金属泵两种。玻璃分散泵都是小型的，制作简单，成本低，但抽速较小，易决裂。金属结构强度较高，适于制作大型泵。
单喷嘴油分散泵的结构如图8.0-3所示。泵的底部为蒸发器，蒸发器内贮有高真空油液，经泵外的电炉加热后，发生必定的油蒸汽，其压强约为10－1Ｔｏｒｒ的数量级。蒸汽沿导管传输到上部，经由伞形喷嘴向下喷出。因为喷嘴外面的气体压强较低，约在10－2～10－3Torr，所以，油蒸汽流可向下喷出一长段间隔，构成一个向出气口方向运动的射流。因为从蒸发器出来的蒸汽流中包括的气体很少，也就是蒸汽流中气体密度低而蒸汽流上方被抽容器的气体分压强总是较大的，气体分子就不断从蒸汽流上方空间分散到蒸汽流内。射流是超音速的，且密度较大，分子量较高，故运载气体的才干很强。分散到超音速射流内的气体分子与蒸汽分子磕碰后得到向下的动量，并被压缩到较高的压强区里，*后被前级泵排出。射流在往下运动过程中碰到有冷却水冷却的泵壁，油分子被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器，持续循环运用。
近代分散泵内一般都有三个至四个喷嘴相串联，这样的泵也称三或四级泵，见图8.0-4。玻璃油分散泵的标称泵速为每秒十几升到每秒几十升，金属油分散泵的泵速可达每秒几百升乃至每秒几万升。
油分散泵在下面出气口压强为10－2～10－3Ｔｏｒｒ时进气口的极限真空可达10-6～10-7Ｔｏｒｒ。若对喷口结构加以改进，加低温捕集阱阻截油蒸汽分子，或选用新型极低蒸汽压分散泵油（如国产276硅油或聚苯醚油），则油分散泵的极限真空可达10-9Torr，能满意清洁的超高真空体系的要求。
油分散泵需在气体处于分子流状况的压强（小于10-2Ｔｏｒｒ）下才干正常排气。真空室和前级气压太高时气体分子相互频频磕碰，处于无序的运动状况，不只很难构成与高速射流喷发方向共同的定向运动，而且会发生严峻的反分散，使之丧失抽速；一起气压太高时，会使泵油分子氧化分化，蒸汽压增高，然后失掉效能，故分散泵既要求体系有必定的准备真空，又要有必定的前级真空。通常用机械泵作为前级泵配合运用。本实验即选用这种分散泵机械泵典型的串联体系来取得高真空。
油分散泵的极限真空度与作业油液汽流的喷发速度有关。一般地，喷发速度越大取得的极限真空越高；别的油分散泵的极限真空度还遭到作业油液饱满蒸汽压和气体分子的反分散的约束。对作业油液的要求是：热稳定性好，挥发物质少，饱满蒸汽压低，不易氧化，不易裂解。
